รายละเอียดคำขอ

เลขที่คำขอ: 1901005106


29/06/2561
19/08/2562
1901005106A
29/04/2567

วิธีจับภาพของชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินและชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซิน

H01L 21/56 B29C 45/17 B29C 43/32
ได-อิชิ เซอิโคะ โค., แอลทีดี.
นายโนริมาสะ นาคาฮาระ
นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์, นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร, นายอังคาร ตั้นพันธ์
ยื่นคำขอให้ตรวจสอบการประดิษฐ์

DEPCT63
          วิธีจับภาพของชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินและชุดปิดผนึกด้วยเรซินซึ่งสามารถดำเนินการระบุ
สาเหตุนั้นได้โดยง่าย เมื่อเกิดปัญหาของผลิตภัณฑ์ในกระบวนการผลิตของชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซิน
กล่าวคือ ชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินของแพ็กเกจเซมิคอนดักเตอร์มียูนิตจ่ายวัสดุ 1 ที่ซึ่งลำเลียง
ลีดเฟรมซึ่งเป็นฐานรองและแท็บเลตเรซินซึ่งเป็นวัสดุเรซินสำหรับปิดผนึกด้วยเรซิน ยูนิตจ่ายวัสดุ 1 มี
กล้องสำหรับส่วนลำเลียง 13 และกล้องสำหรับไวร์เช็ก 14 ถูกทำไว้เพื่อเป็นวิถีทางจับภาพซึ่ง
จับภาพลีดเฟรม กล้องสำหรับส่วนลำเลียง 13 ได้รับข้อมูลการจับภาพของภาพเคลื่อนไหวเกี่ยวกับ
ลีดเฟรมแต่ละตัวซึ่งถูกลำเลียงด้วยส่วนลำเลียง 111
          รูปที่เลือกใช้ รูปที่ 1

-----------------------------------------------------------

DEPCT63
1. วิธีจับภาพของชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่มียูนิตจ่ายวัสดุที่ลำเลียงฐานรองที่ได้ติดตั้งอุปกรณ์
เซมิคอนดักเตอร์ไปถึงตำแหน่งที่กำหนด และอินโหลดเดอร์ซึ่งลำเลียงฐานรองดังกล่าวที่ถูกลำเลียง
ด้วยยูนิตจ่ายวัสดุดังกล่าวไปถึงยูนิตปิดผนึกด้วยเรซินซึ่งปิดผนึกด้วยเรซินต่อฐานรองเดียวกันนั้น
                ที่ซึ่งเป็นวิธีจับภาพของชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่มีกระบวนการซึ่งเคลื่อนที่ที่อย่างน้อย
ส่วนหนึ่งของเส้นทางลำเลียงของฐานรองดังกล่าวด้วยยูนิตจ่ายวัสดุดังกล่าวและของเส้นทางลำเลียง
ฐานรองเดียวกันนั้นโดยอินโหลดเดอร์ดังกล่าว ไปยังทิศทางเดียวกันโดยประมาณพร้อมกับในความเร็ว
เดียวกันโดยประมาณกับฐานรองเดียวกันนั้น ไปพร้อมๆ กับจับภาพฐานรองเดียวกันนั้น
2. วิธีจับภาพของชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่ระบุในข้อถือสิทธิ 1
                ที่ซึ่งมีกระบวนการจับภาพของสภาพซึ่งฐานรองเดียวกันนั้นหยุดอยู่ ที่อย่างน้อยส่วนหนึ่งของ
เส้นทางลำเลียงของฐานรองดังกล่าวด้วยยูนิตจ่ายวัสดุดังกล่าวและของเส้นทางลำเลียงฐานรอง
เดียวกันนั้นโดยอินโหลดเดอร์ดังกล่าว
3. วิธีจับภาพของชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่ระบุในข้อถือสิทธิ 1 หรือข้อถือสิทธิ 2
                ที่ซึ่งมีกระบวนการจับภาพชิ้นงานขึ้นรูปเดียวกันดังกล่าว ไปพร้อม ๆ กับเคลื่อนที่ด้วยทิศทาง
เดียวกันโดยประมาณพร้อมทั้งในความเร็วเดียวกันโดยประมาณกับชิ้นงานขึ้นรูปดังกล่าว ที่อย่างน้อย
ส่วนหนึ่งของเส้นทางลำเลียงซึ่งลำเลียงชิ้นงานขึ้นรูปที่ได้ปิดผนึกด้วยเรซินต่อฐานรองดังกล่าวที่ยูนิต
ปิดผนึกด้วยเรซินดังกล่าว
4. วิธีจับภาพของชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่ระบุในข้อถือสิทธิ 1 ข้อถือสิทธิ 2 หรือข้อถือสิทธิ 3
                ที่ซึ่งจับภาพฐานรองเดียวกันนั้นที่แต่ละเส้นทางลำเลียงนั้น ของเส้นทางลำเลียงฐานรอง
ดังกล่าวด้วยยูนิตจ่ายวัสดุดังกล่าวและเส้นทางลำเลียงฐานรองเดียวกันนั้นด้วยอินโหลดเดอร์ดังกล่าว
5. ชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่มียูนิตจ่ายวัสดุซึ่งลำเลียงฐานรองซึ่งได้ติดตั้งอุปกรณ์เซมิ
คอนดักเตอร์ไปถึงตำแหน่งที่กำหนด และอินโหลดเดอร์ซึ่งลำเลียงฐานรองดังกล่าวที่ได้ถูกลำเลียงด้วย
ยูนิตจ่ายวัสดุดังกล่าวไปถึงยูนิตปิดผนึกด้วยเรซินซึ่งปิดผนึกฐานรองเดียวกันนั้นด้วยเรซิน
                ที่ซึ่งเป็นชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินซึ่งมีวิถีทางจับภาพของฐานรองซึ่งถูกติดตั้งที่ยูนิตจ่ายวัสดุ
ดังกล่าวและอินโหลดเดอร์ดังกล่าวอย่างน้อยอย่างใดอย่างหนึ่ง และจับภาพฐานรองดังกล่าว
6. ชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่มียูนิตจ่ายวัสดุซึ่งลำเลียงฐานรองที่ได้ติดตั้งอุปกรณ์เซมิ
คอนดักเตอร์ไปจนถึงตำแหน่งที่กำหนด และอินโหลดเดอร์ซึ่งลำเลียงฐานรองดังกล่าวที่ได้ถูกลำเลียง
ด้วยยูนิตจ่ายวัสดุดังกล่าวไปถึงยูนิตปิดผนึกด้วยเรซินซึ่งปิดผนึกฐานรองเดียวกันนี้ด้วยเรซิน
                ที่ซึ่งเป็นชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่มีวิถีทางเคลื่อนที่ที่สามารถเคลื่อนที่ในทิศทางเดียวกัน
โดยประมาณกับฐานรองเดียวกันนี้ พร้อม ๆ กับประสานจังหวะกับการเคลื่อนไหวซึ่งฐานรองถูก
ลำเลียง ไปตามอย่างน้อยส่วนหนึ่งของเส้นทางลำเลียงของฐานรองดังกล่าวโดยยูนิตจ่ายวัสดุดังกล่าว
และเส้นทางลำเลียงของฐานรองเดียวกันนี้โดยอินโหลดเดอร์ และ
                วิถีทางจับภาพฐานรองซึ่งถูกติดตั้งที่วิถีทางเคลื่อนที่ดังกล่าวและจับภาพฐานรองดังกล่าว
7. ชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่ระบุในข้อถือสิทธิ 5 หรือข้อถือสิทธิ 6
                ที่ซึ่งมีพรีฮีตยูนิตซึ่งให้ความร้อนแก่ฐานรองดังกล่าว พร้อมทั้งมีอินโหลดเดอร์มารับฐานรอง
เดียวกันที่ถูกให้ความร้อนแล้ว
                และมีวิถีทางจับภาพฐานรองพรีฮีตซึ่งจับภาพฐานรองที่ได้รับความร้อน
8. ชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่ระบุในข้อถือสิทธิ 5
                ที่ซึ่งมีอันโหลดเดอร์ซึ่งรับและลำเลียงชิ้นงานขึ้นรูปซึ่งฐานรองดังกล่าวได้ถูกปิดผนึกด้วยเรซิน
ที่ยูนิตปิดผนึกด้วยเรซินดังกล่าวจากยูนิตปิดผนึกด้วยเรซิน ดีเกทเตอร์ยูนิตซึ่งรับชิ้นงานขึ้นรูปดังกล่าว
จากอันโหลดเดอร์ดังกล่าวกำจัดส่วนของเรซินที่ไม่ต้องการของชิ้นงานขึ้นรูปเดียวกันนั้นพร้อมทั้ง
ลำเลียงชิ้นงานขึ้นรูปดังกล่าว และยูนิตบรรจุผลิตภัณฑ์รับและลำเลียงชิ้นงานขึ้นรูปดังกล่าวจาก
ดีเกทเตอร์ยูนิตดังกล่าว
                และมีวิถีทางจับภาพชิ้นงานขึ้นรูปซึ่งถูกติดตั้งที่อันโหลดเดอร์ดังกล่าว ดีเกทเตอร์ยูนิตดังกล่าว
และยูนิตบรรจุผลิตภัณฑ์ดังกล่าว อย่างน้อย 1 ที่ และจับภาพชิ้นงานขึ้นรูปเดียวกันนั้น
9. ชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่ระบุในข้อถือสิทธิ 6
                ที่ซึ่งมีอันโหลดเดอร์ซึ่งรับและลำเลียงชิ้นงานขึ้นรูปซึ่งฐานรองดังกล่าวได้ถูกปิดผนึกด้วยเรซิน
ที่ยูนิตปิดผนึกด้วยเรซินดังกล่าว ดีเกทเตอร์ยูนิตซึ่งรับชิ้นงานขึ้นรูปดังกล่าวจากอันโหลดเดอร์ดังกล่าว
กำจัดส่วนของเรซินที่ไม่ต้องการของชิ้นงานขึ้นรูปเดียวกันนั้นพร้อมทั้งลำเลียงชิ้นงานขึ้นรูปดังกล่าว
และยูนิตบรรจุผลิตภัณฑ์รับและลำเลียงชิ้นงานขึ้นรูปดังกล่าวจากดีเกทเตอร์ยูนิตดังกล่าว
                และมีวิถีทางเคลื่อนที่ที่ประสานจังหวะกับการเคลื่อนไหวซึ่งชิ้นงานขึ้นรูปดังกล่าวถูกลำเลียง
ไปตามอย่างน้อยส่วนหนึ่งของเส้นทางลำเลียงชิ้นงานขึ้นรูปดังกล่าวโดยอันโหลดเดอร์ดังกล่าว
เส้นทางลำเลียงชิ้นงานขึ้นรูปเดียวกันนั้นโดยดีเกทเตอร์ยูนิตดังกล่าว และเส้นทางลำเลียงชิ้นงานขึ้นรูป
เดียวกันนั้นโดยยูนิตบรรจุผลิตภัณฑ์ดังกล่าว พร้อม ๆ กับสามารถเคลื่อนที่ไปในทิศทางเดียวกัน
โดยประมาณกับชิ้นงานขึ้นรูปเดียวกันนั้น และ
                วิถีทางจับภาพชิ้นงานขึ้นรูปซึ่งถูกติดตั้งที่วิถีทางเคลื่อนที่ดังกล่าว และจับภาพชิ้นงานขึ้นรูป
ดังกล่าว
10. ชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่ระบุในข้อถือสิทธิ 8 หรือข้อถือสิทธิ 9
                ที่ซึ่งมีส่วนจัดการและบันทึกข้อมูลการจับภาพ ซึ่งให้ข้อมูลชี้บ่งที่สามารถชี้บ่งฐานรองดังกล่าว
แก่ฐานรองเดียวกันนั้น
                ผูกข้อมูลการจับภาพซึ่งได้จับภาพฐานรองดังกล่าวหรือชิ้นงานขึ้นรูปดังกล่าวและสร้างขึ้น
เข้ากับข้อมูลชี้บ่งดังกล่าว พร้อมทั้งรวมข้อมูลการจับภาพเดียวกันนั้นที่ได้ผูกไว้เข้ากับข้อมูลชี้บ่ง
ดังกล่าวที่ใช่ร่วมกันและบันทึกในกรณีที่ข้อมูลการจับภาพดังกล่าวมีหลายชุด
11. ชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่ระบุในข้อถือสิทธิ 8 ข้อถือสิทธิ 9 หรือข้อถือสิทธิ 10
                ที่ซึ่งมีส่วนวินิจฉัยข้อมูลการจับภาพ ซึ่งบันทึกข้อมูลอ้างอิงซึ่งเป็นเกณฑ์ พร้อมทั้งเปรียบเทียบ
ข้อมูลการจับภาพที่ได้จับภาพฐานรองดังกล่าวหรือชิ้นงานขึ้นรูปดังกล่าวและสร้างขึ้นกับข้อมูลอ้างอิง
ดังกล่าว และวินิจฉัยความแตกต่างของสภาพภายนอกของฐานรองเดียวกันนั้นหรือชิ้นงานขึ้นรูป
เดียวกันนั้น
12. ชุดเครื่องปิดผนึกด้วยเรซินที่ระบุในข้อถือสิทธิ 8 ข้อถือสิทธิ 9 ข้อถือสิทธิ 10 หรือข้อถือสิทธิ
11
                ที่ซึ่งยูนิตปิดผนึกด้วยเรซินดังกล่าว มีแม่พิมพ์สำหรับปิดผนึกด้วยเรซินซึ่งหนีบฐานรอง
ดังกล่าวด้วยผิวประกบแม่พิมพ์และปิดผนึกด้วยเรซิน
                และอันโหลดเดอร์ดังกล่าว มีส่วนทำความสะอาดซึ่งทำความสะอาดผิวประกบแม่พิมพ์
ดังกล่าวภายหลังได้ปิดผนึกด้วยเรซินต่อฐานรองดังกล่าว และมีวิถีทางจับภาพแม่พิมพ์ซึ่งจับภาพ
ผิวประกบแม่พิมพ์ภายหลังที่ส่วนทำความสะอาดดังกล่าวได้ทำความสะอาดแล้ว

-----------------------------------------------------------

© 2021 DIP